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美國路陽 晶圓缺陷黃綠光表面檢查燈

更新時間:2024-06-20

簡要描述:

美國路陽 晶圓缺陷黃綠光表面檢查燈
wafer晶圓顆粒缺陷檢查燈LUYOR-3325G系列是一款黃綠光表面檢查燈,檢測燈的原理利用適合的LED燈源,通過led發(fā)光,經(jīng)過光學(xué)透鏡聚焦的光源,照在工件表面折射出光路,使得操作員肉眼可識別出工件表面的灰塵、刮痕、毛刺、凹凸、油墨等瑕疵點,取代傳統(tǒng)的照明設(shè)備和光學(xué)系統(tǒng)機臺,直接通過照明光線和肉眼,觀測出一般玻璃表面、部件表面的瑕疵,極大的節(jié)省了一般工廠的

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美國路陽 晶圓缺陷黃綠光表面檢查燈LUYOR-3325G

wafer晶圓顆粒缺陷檢查燈LUYOR-3325G系列是一款黃綠光表面檢查燈,檢測燈的原理利用適合的LED燈源,通過led發(fā)光,經(jīng)過光學(xué)透鏡聚焦的光源,照在工件表面折射出光路,使得操作員肉眼可識別出工件表面的灰塵、刮痕、毛刺、凹凸、油墨等瑕疵點,取代傳統(tǒng)的照明設(shè)備和光學(xué)系統(tǒng)機臺,直接通過照明光線和肉眼,觀測出一般玻璃表面、部件表面的瑕疵,極大的節(jié)省了一般工廠的采購成本。 LUYOR-3325G檢查燈采用人眼最敏感580NM之間波長光,來做zui簡單與明確的判別,可檢查到1um以下的刮痕或微粒子,幾乎可檢測出所有塵埃,大大降低產(chǎn)品不良率。使用壽命為2萬小時以上。光源強度可達30萬LX,最小可以檢測1μ的表面臟污,比傳統(tǒng)的檢查燈,效用增強10倍.LUYOR-3325G可根據(jù)使用場景,使用便攜手持式或桌面式(安裝再臺式支架上)。

LUYOR-3325G為交流電源供電,可以手持式操作,也可以臺式操作。

LUYOR-3325GD為鋰電池供電,可以手持式操作,也可以臺式操作。

美國路陽 晶圓缺陷黃綠光表面檢查燈

晶圓檢測:用于晶圓測試的黃綠光LED檢測燈,LUYOR-3325G專為晶圓質(zhì)量保證和測試而設(shè)計的光學(xué)晶圓檢測設(shè)備。

使用美國路陽 晶圓缺陷黃綠光表面檢查燈進行晶圓檢測:

  • 使用無紫外線輻射的黃綠光燈進行晶圓檢測

  • 更換用于晶圓檢測的紫外燈

  • 在不使用汞蒸氣燈的情況下測試晶圓

  • 設(shè)計為濾波綠光燈或濾光黃光燈,用于晶圓檢測

  • 使用無紫外線和無汞的SECU-CHEK晶圓測試燈進行晶圓表面檢測

為什么使用LUYOR-3325G半導(dǎo)體檢測燈進行晶圓表面檢測?

  • 晶圓生產(chǎn)所需的高工藝可靠性

  • 需要經(jīng)濟高效且無gu障的測試操作

  • 晶圓測試對于晶圓制備和芯片生產(chǎn)的進一步成本密集型步驟至關(guān)重要

  • 根據(jù)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)要求的專業(yè)解決方案

晶圓生產(chǎn)中存在哪些誤差,LUYOR-3325G半導(dǎo)體檢測燈的識別能力如何?

  • 使用過濾后的黃光燈可以很好地檢測到晶圓的缺陷

  • 通過晶圓測試檢測夾雜物

  • 通過目視晶圓測試檢測污染物

  • 用黃綠光觀察生長障礙

  • 在光學(xué)晶圓測試期間識別面紗

  • 使用LUYOR晶圓檢測燈分析條紋

  • 與用于晶圓測試的紫外燈和汞燈相比,可以更好地檢測微觀結(jié)構(gòu)

  • 通過晶圓檢測檢測生長孔

  • 檢查黃綠色燈的高對比度邊緣變平

  • 在光學(xué)晶圓檢測中可以發(fā)現(xiàn)邊緣干擾

  • 使用晶圓上的質(zhì)量檢測燈檢測結(jié)構(gòu)變化

  • 使用紫外黃光和綠光燈檢測晶圓生產(chǎn)中的夾雜物

  • 用過濾后的黃光燈識別不均勻


 

 

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上海路陽儀器有限公司
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